半导体设备市场十年展望：光刻机与刻蚀技术报告.docx

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一、半导体设备市场十年展望：光刻机与刻蚀技术报告

1.1光刻机技术发展现状

1.2光刻机技术发展趋势

1.2.1极紫外光（EUV）光刻技术逐渐成熟

1.2.2纳米压印技术（NPI）有望成为光刻机技术的重要补充

1.2.3光刻机设备国产化进程加速

1.3刻蚀技术发展现状

1.4刻蚀技术发展趋势

1.4.1干法刻蚀技术持续创新

1.4.2湿法刻蚀技术逐步完善

1.4.3刻蚀设备国产化进程加快

二、光刻机技术挑战与应对策略

2.1光刻机技术挑战

2.1.1分辨率极限

2.1.2光源稳定性

2.1.3光刻机结构复杂性

2.2