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基于一次逆、二次正压电效应自感知执行器的研究

摘要

提出利用一次逆、二次正压电效应为同一压电体内的双向效应原理，进行传感器与执行器集成一体化——自感知执行器的研究。即利用一次逆压电效应输出一个微位移，作为执行器使用；利用二次正压电效应的输出电荷自感知执行器的输出位移，作为传感器使用。在准静态(电压0～50V)和低频(电压100V，频率10Hz)条件下，分别进行了一次逆压电效应输出位移、二次正压电效应输出电压的实验，并将得到的数据进行归一化处理。实验结果表明，通过测量二次正压电效应产生的电荷能够较好地自感知一次逆压电效应产生的位移。

一、引言

压电材料由于具有显著的正逆压电效应而被广泛地用作传感器和执行器。目前，在压电智能结构的研究中，压电传感器与压电执行器大都是分离的，这使得真正的同位控制难以实现。如果粘贴的位置不精确，就会影响系统的控制效果，甚至引起失稳现象，同时也增加了结构的重量和布线方面的困难。特别是在独立模态的控制中，每增加一个受控模态，则就要多增加2个压电片，这在实际上是不可行的。因此，减少传感器与执行器的数量可使上述问题得到一定程度的解决，这对于较为复杂的结构和被控模态数量要求较多的系统尤其重要。将作动器与传感器统一在一起是一种有效的方法。自感知执行器概念的提出，为解决上述问题提供了新的思路。自感知执行器能够同时实现传感与执行功能，减少了系统的复杂性和重量，提高了控制的准确性和稳定性。本文基于一次逆、二次正压电效应原理，对自感知执行器进行了深入研究。

二、压电效应原理

2.1一次逆压电效应

当对压电材料施加外电场时，压电材料会产生机械形变，这种现象被称为逆压电效应。一次逆压电效应的数学表达式为：

S=dE

其中，S表示压电应变，E表示施加在材料上的电场强度，d表示压电系数。在实际应用中，通过控制施加的电场强度，可以精确地控制压电材料的形变，从而实现微位移输出，作为执行器使用。

2.2二次正压电效应

当压电材料受到外力作用而产生机械形变时，会在其表面产生电荷，这种现象被称为正压电效应。而二次正压电效应是在一次逆压电效应产生形变的基础上，由于该形变而引发的正压电效应。二次正压电效应产生的电荷量与一次逆压电效应产生的形变量密切相关。其产生过程可以描述为：当一次逆压电效应使压电材料产生形变后，该形变导致压电材料内部的电荷分布发生变化，从而在材料表面产生电荷。通过测量这些电荷，可以实现对一次逆压电效应产生位移的自感知。

三、自感知执行器的设计

3.1结构设计

自感知执行器采用压电陶瓷叠堆作为核心元件。压电陶瓷叠堆由多个压电陶瓷片堆叠而成，这种结构能够增强压电效应，提高执行器的输出性能和传感器的感知灵敏度。在叠堆的两端分别设置电极，一端作为公共电极，另一端则根据功能需求分为执行电极和传感电极。当在执行电极上施加驱动电压时，利用一次逆压电效应，压电陶瓷叠堆产生微位移，实现执行器的功能；而在传感电极上，通过测量二次正压电效应产生的电荷，实现对执行器输出位移的自感知。

3.2工作原理

当在执行电极上施加电压时，根据一次逆压电效应，压电陶瓷叠堆产生形变，输出微位移，完成执行器的动作。同时，由于该形变，在压电陶瓷叠堆内部产生应力和应变，进而引发二次正压电效应。二次正压电效应使得传感电极上产生电荷，通过测量该电荷的大小，可以间接获得执行器输出位移的信息。这样，通过一次逆压电效应和二次正压电效应在同一压电陶瓷叠堆内的协同作用，实现了自感知执行器的传感与执行一体化功能。

四、实验研究

4.1实验装置搭建

实验装置主要包括压电陶瓷叠堆、驱动电源、位移测量装置和电荷测量装置。压电陶瓷叠堆选用性能优良的PZT-5型，其具有较高的压电系数和良好的稳定性。驱动电源用于提供稳定的电压信号，以激发一次逆压电效应。位移测量装置采用高精度的激光位移传感器，能够精确测量压电陶瓷叠堆的输出位移。电荷测量装置则采用高灵敏度的电荷放大器，用于测量二次正压电效应产生的电荷。

4.2准静态实验

在准静态条件下，将驱动电压从0V逐渐增加到50V，测量不同电压下一次逆压电效应产生的位移以及二次正压电效应产生的电压。实验结果表明，随着驱动电压的增加，一次逆压电效应产生的位移近似线性增加，二次正压电效应产生的电压也呈现出良好的线性变化趋势。对实验数据进行归一化处理后，发现二次正压电效应产生的电压与一次逆压电效应产生的位移之间存在着高度的线性相关性。

4.3低频实验

在低频条件下，设置驱动电压为100V，频率为10Hz，测量一次逆压电效应产生的位移和二次正压电效应产生的电压随时间的变化。实验结果显示，在该频率下，一次逆压电效应产生的位移和二次正压电效应产生的电压能够稳定地跟随驱动信号的变化，且两者之