WO2025139322A1 一种芯片缺陷检测方法和系统 （江南大学）.docxVIP

(12)按照专利合作条约所公布的国际申请

(19)世界知识产权组织国际局

(43)国际公布日

2025年7月3日(03.07.2025)WIPOIPCT

(10)国际公布号

WO2025/139322A1

(51)国际专利分类号：

G06T7/00(2017.01)

(21)国际申请号：PCT/CN2024/128016

(22)国际申请日：2024年10月29日(29.10.2024)

(25)申请语言：中文

(26)公布语言：中文

(30)优先权：

202311829612.72023年12月28日(28.12.2023)CN

(71)申请人：江南大学(JIANGNANUNIVERSITY)[CN/CN];中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。中国电子科技集团公司第五十八研究所(58THRESEARCHINSTITUTE

OFCHINAELECTRONICSTECHNOLOGYGROUP

CORPORATION)[CN/CN];中国江苏省无锡市滨湖区惠河路5号214000(CN)。

(72)发明人：明雪飞(MING,Xuefei);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。李可(LI,Ke);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。宿磊(SU,Lei);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。于成昊(YU,Chenghao);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。孙钰(SUN,Yu);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。顾杰斐(GU,Jiefei);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。赵新维(ZHAO,Xinwei);中国江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号214200(CN)。

(54)Title:CHIPDEFECTDETECTIONMETHODANDSYSTEM

(54)发明名称：一种芯片缺陷检测方法和系统

WO2025/139322A1AAAcquireaone-dimensional

WO2025/139322A1

AAAcquireaone-dimensionalvibrationsignalofachipandconvertsameintotwo-dimensionalimagedata

BBTrainanalgorithmNASbymeansofthe

two-dimensionalimagedata,andoptimizethealgorithm

NAStoobtainaneuralarchitecturesearchalgorithmmodelASNDARTS

CCConstructaknowledgedistillationalgorithmmodel

DPSKDonthebasisoftheneuralarchitecturesearchalgorithmmodelASNDARTS

DDAcquireaone-dimensionalvibrationsignalofachip

undertestandconvertsaneintotwo-dimensionalimage

data,anddetectthetwo-dimensionalimagedataofthechipundertestbymeansoftheknowledgedistillationalgorithmmodelDPSKD,soastodeterminewhetherthechipundertesthasadefect

AA

获取芯片的一维振动信号并转化为二维图像数据

通过二维图像数据训练算法NAS,并对算法NAS进行优化