一电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用ε8851012Fmεr85课件讲解.pptxVIP

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用电容式传感器实质上是利用电容公式进行检测的传感器C为电容，F；d为两个极板之间的距离，m；A为极板正对面积；为介电常数。真空介电常数ε=8.85×1012F/m。εr为相对介电常数。dεA位移、料位、液位、压力、振动位移、角度成分含量被检测可通过极板距离d、正对面积A和介电常数ε的变化，转换为电容C的变化实现检测。

纯净的水100℃55.33一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用在电容通道内通过不同介电常数的介质，比较检测不同介质

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用电容传感器的结构优点：由于极板间的静电引力小，活动部分的可动质量小，所以对输入能量的要求低；由于介质损耗小，传感器本身发热少，使其能在高频范围内工作，具有较好的动态响应特性。

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。检测量：线位移、角位移；极板：平板式、圆筒式、锯齿形；【输入输出特性有线性特征】

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。xb电容量的变化灵敏度

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。电容量的变化灵敏度rα

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。电容量的变化灵敏度rx对移动极板平行度要求高，稍有倾斜则极距d变化，影响测量精度。因此在一般情况下，变面积式电容传感器常做成圆筒形的。R

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。①边缘效应电容器总是存在边缘电荷集中的情况，边缘处电场线由平行线变为呈开口状分布。对于平行板电容器：若板间距离远小于它们的线性尺寸，边缘效应忽略不计；否则，根据边缘效应修正公式，修正因子取决于电极几何尺寸。

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。②存在寄生电容连接导线一般和其他导体之间会产生寄生电容，即输出电缆和屏蔽导体之间会有电容存在，引入了容性误差。

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器通过改变极板间的相互覆盖面积改变电容量的电容传感器。①边缘效应②存在寄生电容理想特性实际特性

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器采用差动结构，结构对称，2个固定极板与运动极板之间，1个电容增加，1个电容减少。求差值，可以将边缘效应带来的额外电容（并联）消除或减小。减小误差、提高检测准确性，增加灵敏度。差动转角检测

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器电容量的变化灵敏度bααβ

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类1）变面积型电容传感器电容量的变化灵敏度rxRh0优先考虑灵敏度远不及极距变化传感器，适用于大量程位移测量

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用如平行电容器两个极板间覆盖面积和极间介质不变，则其电容量C与极距呈现非线性关系。当极距有一微小变化量时，引起电容的变化量为式中，A为极板间覆盖面积。则其灵敏度为1.电容式传感器的分类2）极距变化型电容传感器极距越小，灵敏度越高灵敏度随极距变化。引起非线性误差

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类2）极距变化型电容传感器为了减小这一误差，通常规定电容两个极板在较小间隙范围内工作，以获得近似线性关系△δ/δ≈0.1

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类2）极距变化型电容传感器固定极板活动极板δ0δ0

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类2）极距变化型电容传感器δ0δ0△δ线性度大大增加。但量程被限制于一个特定的范围，超过此范围，出现非线性区域，适合小量程高精度测量忽略线性化灵敏度提高1倍

一、电容式传感器任务一高精度位移传感器的应用1.电容式传感器的分类3）变介质型电容传感器测量纸张、绝缘薄膜等的厚度测量粮食、纺织品、木材等非导电固体介质