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真空系统试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每题2分，共20分。请将正确选项的字母填在括号内）

1.下列哪个物理量是描述空间内气体稀薄程度的基本参数？（）

A.压力B.温度C.密度D.分子平均自由程

2.真空环境中，气体分子与器壁碰撞所产生的压强称为？（）

A.分子泵压B.残余气体压强C.蒸发压强D.洁净度

3.适用于抽除大气和可凝性蒸气的泵是？（）

A.油扩散泵B.涡轮分子泵C.旋片泵D.真空泵

4.下列哪种泵属于二次真空泵？（）

A.机械增压泵B.罗茨泵C.钛升华泵D.离子泵

5.用于测量低真空（约10?-10?3Pa）范围的真空计是？（）

A.热偶真空计B.电离真空计C.压力传感器D.磁控溅射计

6.真空获得系统设计中，选择前级泵的主要依据是？（）

A.最终真空度B.泵的抽速C.容器体积D.所需极限真空

7.真空系统检漏常用的方法不包括？（）

A.氦质谱检漏B.放大检漏法C.铜丝法D.油扩散泵检漏

8.在超高真空技术中，获得极限真空度的主要泵是？（）

A.机械泵B.扩散泵C.油扩散泵D.离子泵

9.真空系统管道连接时，通常采用？（）

A.焊接B.螺纹连接C.卡扣连接D.热熔连接

10.下列哪项不属于真空系统操作中的安全注意事项？（）

A.确保系统接地良好B.先开泵后关阀门C.防止油蒸气吸入D.定期更换真空计

二、填空题（每空1分，共15分。请将答案填在横线上）

1.真空技术按真空度范围可分为______、低真空、高真空和超高真空。

2.真空泵的抽速是指单位时间内泵能抽除气体的______。

3.真空系统的排气过程通常遵循______定律。

4.热偶真空计的测量原理是基于低压气体热传导率与______成正比。

5.真空系统中常用的阀门有球阀、隔膜阀和______。

6.油扩散泵的工作过程包括蒸发、______和冷凝三个步骤。

7.影响真空系统抽气速率的主要因素有泵的抽速、______和系统管路效率。

8.______是指在规定条件下，真空系统中可检测到的最小漏率。

9.真空获得设备通常由主泵和______组成。

10.在超高真空系统中，为了减少气体放气，常采用______等措施。

三、判断题（每题1分，共10分。请将“正确”或“错误”填在括号内）

1.真空度越高，气体密度越大。（）

2.任何真空泵都可以直接抽除大气压。（）

3.离子泵是一种能够获得超高真空的干泵。（）

4.真空计的读数可以直接反映真空系统的绝对压强。（）

5.真空系统的放气来源主要包括残余气体和泵的放气。（）

6.涡轮分子泵可以在常温下长时间运行，无需烘烤。（）

7.真空系统检漏时，发现泄漏点通常用皂泡法观察。（）

8.真空管道的弯头通常采用大曲率半径，以减小流动阻力。（）

9.真空系统中的所有阀门都应朝上安装。（）

10.热偶真空计和电离真空计都属于绝对真空计。（）

四、简答题（每题5分，共20分。请简要回答下列问题）

1.简述扩散泵的工作原理及其主要优缺点。

2.列举至少三种真空系统常用的检漏方法，并简述其原理。

3.说明选择真空泵时需要考虑哪些主要因素？

4.简述真空系统安装和调试过程中需要注意的关键环节。

五、计算题（每题10分，共20分。请列出计算步骤，写出结果）

1.一个真空系统需要达到的极限真空度为1×10??Pa。已知系统总容积为10m3，采用一台抽速为500L/s的离子泵作为主泵。假设系统残余气体放气率为1×10??Pa·L/s，忽略前级泵影响。请问该离子泵是否能够满足系统的抽气要求？（提示：可简化计算，比较泵抽除气体的能力与系统放气率的关系）

2.某真空系统使用复合真空计测量压强，在测量点温度为25°C时，热偶真空计读数为10?2Pa，电离真空计读数为5×10??Pa。已知该温度下，热偶真空计和电离真空计的校准系数分别为0.98和1.0。请计算该测量点的实际绝对压强。

六、论述题（