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纳米加工技术试题库及答案

一、单项选择题（每题2分，共10题）

1.纳米加工精度一般在（）

A.毫米级B.微米级C.纳米级

答案：C

2.以下哪种不属于纳米加工方法（）

A.光刻B.车削C.原子操纵

答案：B

3.原子力显微镜主要利用（）检测样品表面形貌

A.电场力B.原子间作用力C.磁场力

答案：B

4.纳米光刻技术可实现的最小特征尺寸（）

A.较大B.较小C.不确定

答案：B

5.用于纳米加工的材料通常要求（）

A.硬度低B.纯度高C.韧性差

答案：B

6.纳米压印技术是（）加工方式

A.减法B.加法C.复制

答案：C

7.飞秒激光加工属于（）纳米加工手段

A.物理B.化学C.机械

答案：A

8.以下能用于纳米级测量的是（）

A.游标卡尺B.扫描电子显微镜C.千分尺

答案：B

9.纳米加工中，超精密磨削主要用于（）

A.金属材料B.陶瓷材料C.各种材料

答案：C

10.量子点的尺寸处于（）范围

A.毫米B.微米C.纳米

答案：C

二、多项选择题（每题2分，共10题）

1.纳米加工技术包括（）

A.光刻技术B.电子束加工C.离子束加工

答案：ABC

2.纳米测量技术有（）

A.原子力显微镜测量B.扫描隧道显微镜测量C.光学显微镜测量

答案：AB

3.适合纳米加工的材料有（）

A.单晶硅B.金刚石C.铝合金

答案：ABC

4.纳米光刻技术包括（）

A.紫外光刻B.极紫外光刻C.X射线光刻

答案：ABC

5.原子操纵技术可实现（）

A.原子排列B.原子去除C.原子添加

答案：ABC

6.纳米加工的特点有（）

A.精度高B.尺度小C.对设备要求低

答案：AB

7.纳米压印工艺步骤包含（）

A.模板制备B.压印C.脱模

答案：ABC

8.飞秒激光纳米加工优势有（）

A.热影响小B.加工精度高C.速度快

答案：AB

9.超精密加工机床应具备（）

A.高精度运动部件B.良好的隔振措施C.普通的控制系统

答案：AB

10.纳米技术在以下领域有应用（）

A.电子B.生物医学C.航空航天

答案：ABC

三、判断题（每题2分，共10题）

1.纳米加工只能针对金属材料。（×）

2.扫描隧道显微镜可用于纳米加工。（√）

3.纳米光刻技术的分辨率不受波长限制。（×）

4.原子力显微镜不能测量表面粗糙度。（×）

5.纳米加工中材料的纯度对加工质量无影响。（×）

6.飞秒激光加工会产生较大的热变形。（×）

7.纳米压印技术不能制作复杂图案。（×）

8.超精密磨削能达到纳米级精度。（√）

9.量子点的性质与尺寸无关。（×）

10.纳米加工技术只能用于微观领域。（×）

四、简答题（每题5分，共4题）

1.简述纳米加工技术的定义。

答案：纳米加工技术是指在纳米尺度下对材料或器件进行加工、制造、测量与操控的一系列技术，旨在实现纳米级精度的结构、器件制作。

2.原子力显微镜用于纳米加工的原理是什么？

答案：利用微悬臂感受针尖与样品表面原子间作用力，通过检测这种力的变化，反馈控制针尖运动，实现对样品表面纳米尺度的形貌测量与加工操纵。

3.纳米光刻技术的关键影响因素有哪些？

答案：关键因素包括光刻光源波长，波长越短分辨率越高；光刻胶性能，如灵敏度、分辨率等；以及光刻设备的精度与稳定性。

4.飞秒激光纳米加工的原理是什么？

答案：飞秒激光脉宽极短、能量高度集中，聚焦后可在材料表面或内部瞬间产生极高能量密度，通过多光子吸收等非线性过程实现纳米尺度的材料去除、改性等加工。

五、讨论题（每题5分，共4题）

1.讨论纳米加工技术在半导体芯片制造中的应用及面临的挑战。

答案：应用于制造更小尺寸芯片，提高集成度。挑战在于光刻分辨率提升困难，材料加工损伤控制难，设备成本高，且加工过程中的环境干扰难消除。

2.谈谈纳米加工技术对未来生物医学领域发展可能产生的影响。

答案：可能实现纳米级药物载体精准制造，用于靶向给药；制造纳米生物传感器，实现高灵敏度检测；有助于纳米机器人研发，用于疾病诊断与治疗，推动医学进步。

3.分析纳米加工技术与传统加工技术相比，优势和局限性分别体现在哪些方面？

答案：优势是精度高，能制造微小复杂结构。局限