突破垄断，定义半导体真空控制新标准.docxVIP

全球市场研究报告

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半导体用气动真空阀门是专为半导体制造工艺中各类真空系统设计的自动化执行元件，其核心功能是精确控制特定真空管路中气体的“通”与“断”，从而隔离或连接不同的工艺腔室，确保芯片制造能够在要求的高真空甚至超高真空环境下稳定进行。

根据QYResearch最新调研报告显示，预计2032年全球半导体用气动真空阀门市场规模将达到17.62亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为4.5%。

图.半导体用气动真空阀门，全球市场总体规模

CAGR:2021

CAGR:2021-2025

4.3%

2025

2026

2032

CAGR:2025-2031

4.5%

2026年增速:

4.6%

$1294.50Mn

$1352.75Mn

$1762Mn

来源：QYResearch南宁研究中心

表.半导体用气动真空阀门的主要生产商

总部/国家

公司名称

业务介绍

瑞士

VATGroupAG

VATGroupAG是一家全球领先高性能真空阀及真空解决方案开发与制造商。VAT的主要业务包括设计、制造和供应高端真空阀、气体入口阀、多阀模块、边缘焊接金属波纹管及相关增值服务，其产品广泛用于半导体、显示器、光伏、真空镀膜等制造业以及科研领域，在半导体真空阀市场拥有显著的全球份额。公司还提供全球服务如备件、维修与升级服务。

日本

富士金

FujikinIncorporated是全球领先的超精密流体控制系统与特殊阀门制造商。公司设计、开发、制造并销售高精密阀门、接头、流体控制设备及质量流量控制系统（MFC），产品广泛应用于半导体制造、高纯气体与化工、医药与食品无菌加工、液化天然气与燃料电池、新能源、电力与核电、航天及海洋工程等领域。Fujikin在全球设有制造基地和销售服务网络，并通过符合洁净室标准的生产工艺保证高纯度控制性能。其技术还涉及超高压及微流控制，是流体控制领域的全球重要供应商。

美国

派克

派克汉尼汾公司（ParkerHannifinCorporation）是全球领先的运动与控制技术及系统供应商。公司产品涵盖流体控制、气动与电动控制、精密机械系统与组件，在航空航天、工业制造、交通运输、生命科学、能源、自动化及基础设施等行业广泛应用。派克通过全球研发、制造与服务网络，提供包括阀门、泵、液压与气动元件、过滤器、密封件、执行器、管路系统及自动化控制解决方案在内的完整产品组合，致力于提升系统可靠性与效率。公司在全球多地设有工厂和分支机构，是全球控制与驱动技术领域的龙头企业。

日本

CKD

CKD株式会社是全球知名的自动化与流体控制解决方案供应商。公司主要设计与制造电磁阀、气动元件、流体控制设备、精密机械装置及传感器系统，广泛应用于半导体制造设备、工厂自动化、医疗器械、汽车生产线与包装设备等领域。CKD以其高可靠性、精密控制和定制能力著称，提供包括气缸、阀块、真空设备、液压组件和系统集成服务在内的完整自动化产品线，并在全球设有研发、制造和销售服务网络。公司致力于推动智能制造与高效生产解决方案。

美国

MKS

MKSInstruments,Inc是全球领先的精密测量、控制与分析仪器供应商。公司产品组合覆盖真空与气体控制系统、压力与流量测量、光学传感器、激光系统、过程控制软件等关键组件与子系统，广泛应用于半导体制造、光电子、工业制造、科研与国防等高科技领域。MKS尤其在真空阀门、质量流量控制器（MFC）、残压监测、光谱分析与过程控制系统方面具备全球竞争力，通过集成解决方案提升客户生产效率与产品良率，并在全球设有研发、制造及服务网络。

德国

PfeifferVacuum

PfeifferVacuum是全球领先的真空技术产品与系统供应商。公司核心产品包括真空泵（旋片泵、涡轮分子泵、干式泵）、真空计、真空阀门、真空组件及完整真空系统，广泛应用于半导体制造、显示面板、光伏、科研实验室、表面分析、制药与工业真空应用。凭借高可靠性与创新技术，Pfeiffer在高真空与超高真空领域具有重要市场地位。公司在全球设有研发中心、生产基地与服务网络，为客户提供从单件设备到定制真空系统的完整解决方案。

日本

SMCCorporation

SMCCorporation是全球领先的气动元件与自动化控制设备制造商。公司产品涵盖气缸、气动阀、真空发生器与真空元件、气源处理组件、传感器及流体控制系统，广泛应用于工厂自动化、半导体制造设备、电子装配、汽车生产、食品包装与生命科学设备等行业。SMC以高可靠性、模块化设计和全球化服务网络著称，为客户提供标准件与系统集成解决方案，推动智能制造与高效生产。

日本

KITZSCT

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