半导体关键零部件研究之静电卡盘.pdfVIP

2023年8月3日

行业研究

静电卡盘是半导体关键零部件，技术壁垒高

——半导体零部件系列研究之静电卡盘

要点机械行业

静电卡盘是一种通过静电力将工件吸附固定在卡盘表面的夹具。相较于传统的机买入（维持）

械卡盘与真空卡盘，静电卡盘由于对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于

精密加工的场景。作者

分析师：杨绍辉

静电卡盘对多个半导体制造工艺的良率提升起重要作用。现代半导体工艺中需要

执业证书编号：S0930522060001

保证晶圆的平稳固定。静电卡盘由于吸附均匀、污染小、可作用于真空环境的特021

点在工艺良率的提升方面优势明显。同时半导体工艺中对晶圆温度控制是影响良yangshaohui1@

率的关键，因此需要通过静电卡盘对晶圆进行加热或散热从而对晶圆温度进行精

联系人：李佳琦

准控制。在静电卡盘实际工作过程中，同一温控区内的晶圆实际温度可能会有不

lijiaqi@

同。因此可通过增加温控区的方式，对每一温控区进行单独温度控制，从而实现

晶圆整体的均热性，提高半导体工艺的良率。行业与沪深300指数对比图

静电卡盘市场稳步增长。据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购成本的

12.7%。受益于半导体设备市场规模持续扩张，静电卡盘市场规模持续增长。据30%

QYResearch数据，2017-2021年全球静电卡盘市场销售额从15.5亿美元增长10%

至17.1亿美元，CAGR为2.5%。QYResearch预计2022-2028年全球静电卡盘

-10%

市场销售额将由17.9亿美元增长至24.1亿美元，CAGR为5.1%。

-30%

全球静电卡盘市场由美系、日系制造商高度垄断。美国的静电卡盘制造商包括22/0622/0922/1223/03

AppliedMaterials与LamResearch等，日本的静电卡盘制造商包括Shinko、

TOTO、NTK、CreativeTechnologyCorporation等。据QYResearch数据，机械行业沪深300

AppliedMaterials、LamResearch与Shinko分别占据了2021年全球静电卡资料来源：Wind

盘市场销售额前三位，各自占比分别为43.86%/31.42%/10.20%。

国内厂商处于起步阶段，国产替代需求迫切。目前已有包括华卓精科、海拓创新、相关研报

中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产半导体制程设备核心零部件射频电源，国产验证

与替代加速

工作。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了

——半导体零部件之射频电源行业动态报告

海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。

投资建议：建议关注已在静电卡盘国产化替代方面取得进展的华卓精科、中瓷电

子、珂玛科技。

华卓精科：12寸PVD氮化铝静电卡盘已实现小规模出货，目前已向北方华创等

客户供货，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面。

中瓷电子：建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，实现了加