日立金属 质量流量控制器 FC-R7800C、D;FC-R7810C、D;FC-R7820C、D 说明书.pdf

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质量流量控制器日立金属

FC-R7800系列

质量流量控制器

FFC-R7800CR7800系列不仅能提供高精度流量控制系列不仅能提供高精度流量控制

采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于

绝大多数气体控制应用。

提供行业通用和AE独特电气信号可选方案,可方便对用户

使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。

▍特点

◆高精度

◆耐腐蚀设计

◆采用金属密封材质

◆VCR、Swagelok互

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