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自动橱filter更换作业书
1.0异常现象概述：
Filter更换
2.0所使用的工具：
乳胶手套、防酸袖套、防酸围裙、活动扳手、内六角、无尘布、无尘纸、；
3.0注意事项：
（1）工作前先穿戴好防护用具；
（2）注意自身安全，操作安全；
（3）更换filter前确认对应槽溶液及filter内残留溶液排净；
4.0程序：
1、选主画面工具列的LogIn项，把用户名切为EE用户，将机台切为手动模式；
2、将filter对应槽体溶液排净，用冲洗槽内壁，冲洗干净后，再将残留溶
液排净，关闭排放功能；
3、先将过滤器的出阀关闭(避免酸再进入过滤器中)；
4、打开过滤器下方的排水阀将过滤器中的酸排掉；
5、打开过滤器上方的排气阀出(全开)；
6、确认酸排干净后，再将过滤器取下，再将滤心取出；
7、打开新滤心，将其擦拭干净后，再过滤器中，确认滤心是否有装到底；
8、无误后，再将外壳装回(切记HOUSINGO-RING擦拭干净，检查是否有破
裂，确保o-ring没问题则装回)；
9、确认所有接头都锁紧后，再启动供液功能，槽体溶液补满后，打开循环、温
控功能；
10、查看filter是否漏液，若filter，则停止循环温控，将filter锁扣
锁紧些许，继续开启循环温控，观察有无；
11、若filter仍有漏液，则重复步骤10直至filter不再，并持续观察filter
状态；
12、确定filter不再后，将机台切为自动模式，选主画面工具列的LogIn
项，把用户名切为OP用户；
13、进行多次空run测试，查看机台是否运行正常，OK后将机台交付工艺。
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