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离子溅射仪安全操作及保养规程

离子溅射仪主要用于薄膜制备和表面改性等方面。在使用离子溅射仪的过程中，遵照安全规程，维护设备，保证仪器长期稳定运行非常重要。本文将介绍离子溅射仪的安全操作和保养规程，以确保操作员和设备的安全，有效预防事故的发生。

操作规程

离子溅射室准备

在处理器内部排气口连接真空泵，使处理器内部抽空。将要处理的物品放入到样品台上，注意清洁。

打开离子源电源，在调节内部的参数前，需要先将误差调节在0~10%之间。待时间稳定后，可以进行调节。

将标准溅射源（单种物质）装入样品台或载体上，或将膜层样品（复合单种、多种物质或样品）装入样品台。

操作步骤

打开溅射电源，启动和设置周期及放电参数，并调整气阀门和流量计来控制气体流量和压力。

让样品和标准样品共同运行，在一定的时间交替溅射样品，然后关闭业务面板的电源。标记样品占35-40%左右，样品占60-65%左右，夹层加热阱及氦气压强等要合理调节。

操作注意事项

通过安全球阀门实现诸如漏电、压力变化等问题的自动切断，在操作过程中，需要留意电流和气压、压力等实时监测。同时，离子源最大功率为12KW，它必须被限制在1.2-1.8KW左右才能正常使用。

操作前检查气源气瓶中有足够的气体：氦气、氮气、氩气，检查离子源冷却水管路是否通畅，水循环是否正常，并及时解决已发现的问题。

开始操作

启动离子源的闪光室，等待它达到正常工作状态，并检查与上下排列的异位阀门是否可以顺畅工作。此时，检查所有电缆和控制器是否正常，并确认设备正常后才能开始使用。

设备保养

正常使用离子溅射器，正确使用方法进行保养，是使设备始终保持良好状态的关键。有效的保养不仅能延长设备的使用寿命，而且可以帮助设备更加精确，提高实验质量和减少损坏危险。

定期清洁

定期清洁设备是离子溅射器维护的必要步骤。在接下来的几个步骤中，不需要使用尖锐物品来清洁离子源表面。一般的清洁方法是用棉球沾取乙端醇或缩水甘油，并在离子源表面轻轻擦拭。

保养元件

离子源的保养非常重要。保养离子源时，需将它抽空，然后拆开离子源，用玻璃棒轻轻刮掉离子源表面的附着物。如果离子源表面已经被腐蚀或磨损，应更换新的离子源。同样，在更换离子源时，应注意它们的制造和形状是否与应用要求相合。

检查真空

检查真空情况是常规维护步骤。运作几天后，应检查真空泵滤芯；一个月后，检查真空泵油或液位器。如果发现真空情况不好，记得及时替换它。

更换和定期维护部件

部件更换和定期维护是确保离子溅射仪常规工作正常执行的必要步骤。应定期检查和保养离子通道和其他部件，并确保它们的使用寿命是正确的。

维修和保养

如果离子溅射器出现了异常情况，应该立即对它进行维修和保养。除了工作上的意外，设备可能会在使用过程中出现相互干扰、电缆老化等情况，所以需要定期维护并更换不工作的部件。

总结

离子溅射仪在薄膜制备和表面改性等方面发挥了重要的作用，但在使用时需要遵循安全规程，正确维护机器，以确保操作员和设备的安全。本文介绍了离子溅射仪的安全操作和保养规程，以及离子源保养、检查真空、部件更换和定期维护等方面的注意事项。操作销毁离子溅射仪需要多方面因素的考虑，以确保设备操作的长期稳定和安全性。