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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103472601A*
*CN103472601A*
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN103472601A
(10)申请公布号CN103472601A
(43)申请公布日2013.12.25
(21)申请号201310393003.1
(22)申请日2013.09.02
(71)申请人京东方科技集团股份有限公司
地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号
申请人北京京东方显示技术有限公司
(72)发明人蔡培
(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理
有限公司11291
代理人黄志华
(51)Int.Cl.
G02F1/13(2006.01)
G01B11/00(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图2页
权利要求书2页说明书6页附图2页
(54)发明名称
一种检测设备及检测方法
(57)摘要
本发明涉及阵列检测技术领域，公开了一
种检测设备及检测方法，包括：探针总成Probe
Assembly，每一个探针总成上具有用于与被检测
器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针
Pin；装载所述探针的探针总成载台；采集单元，
用于采集所述检测接触层的位置信息；与所述采
集单元信号连接的信号处理单元，当所述信号处
理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该
采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接
触层之间对位不准时生成调节信息。上述检测设
备在接触检测过程中，探针总成的探针与接触层
接触时，每一个探针总成的探针与对应的接触层
之间的接触良好，能够很好地完成接触检测，提高
生产效率。
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CN103472601A权利要求书1/2页
1.一种检测设备，其特征在于，包括：
探针总成ProbeAssembly，每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接
触、且加载检测信号的探针Pin；
装载所述探针的探针总成载台；
采集单元，用于采集所述检测接触层的位置信息；
与所述采集单元信号连接的信号处理单元，当所述信号处理单元根据所述采集单元采
集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准
时生成调节信息。
2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：
与所述信号处理单元信号连接的机械手装置，所述机械手装置根据所述信号处理单元
生成的调节信息调整所述探针总成在所述探针总成载台上装载位置，使探针总成的探针与
对应的检测接触层之间对位准确。
3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，每一个所述采集单元包括两个同时
具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。
4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，每一个所述采集单元具有的两个光
感传感器安装于与所述采集单元对应的探针总成，且其中一个光感传感器位于所述探针总
成中探针的一侧，另一个所述光感传感器安位于所述探针的另一侧。
5.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，每一个
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