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甲硅烷（CAS号：7803-62-5）理化性质与危险特性一览表

标

识

中文名称：

硅烷；四氢化硅；甲硅烷

英文名称：

silicontetrahydride；silicane

分子式：

H?Si

相对分子质量：

32.13

用途：

用于微电子、光电子制造业。

危

险

概

述

概述：

极易燃气体，内装加压气体：遇热可能爆炸。

危险性类别：

易燃气体，类别1；加压气体；急性毒性-吸入，类别5；皮肤腐蚀/刺激，类别2；严重眼损伤/眼刺激，类别2A；特异性靶器官毒性-一次接触，类别3(呼吸道刺激)；特异性靶器官毒性-反复接触，类别2

防范说明：

预防措施：

远离热源、火花、明火、热表面。禁止吸烟。避免接触眼睛、皮肤，操作后彻底清洗。戴防护眼镜、防护面罩、防护手套。避免吸入气体。

事故响应：

漏气着火：切勿灭火，除非漏气能够安全地制止。如果没有危险，消除一切点火源。如吸入：如感觉不适，呼叫中毒控制中心或就医。皮肤接触：用大量肥皂水和水清洗。如发生皮肤刺激，就医。脱去被污染的衣服，衣服洗净后方可重新使用。如接触眼睛：用水细心冲洗数分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜，继续冲洗。如果眼睛刺激持续：就医。

安全储存：

存放在通风良好的地方。防日晒。存放在通风良好的地方。

废弃处置：

本品及内装物、容器依据国家和地方法规处置。

物理和化学危险：

接触空气易自燃。

健康危害：

吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白、脉搏微弱、昏迷。

环境危害：

吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白、脉搏微弱、昏迷。

急

救

措

施

吸入：

迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。就医。

皮肤接触：

立即脱去污染的衣着，用流动清水彻底冲洗。就医。

眼睛接触：

立即分开眼睑，用流动清水或生理盐水彻底冲洗。就医。

食入：

—。

对保护施救者的忠告：

根据需要使用个人防护设备。

对医生的特别提示：

对症处理。

消

防

措

施

灭火剂：

迅速切断气源，用水喷淋保护切断气源的人员，然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火。

特别危险性：

与空气混合能形成爆炸性混合物。遇明火、高热极易燃烧爆炸。暴露在空气中能自燃。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。

注意事项及防护措施：

消防人员必须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火。切断气源，若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。

泄

漏

应

急

处

理

作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序：

消除所有点火源。根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿防静电服。作业时使用的所有设备应接地。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。若可能翻转容器，使之逸出气体而非液体。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。

环境保护措施：

防止气体通过下水道、通风系统和有限空间扩散。

泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料：

隔离泄漏区直至气体散尽。

操

作

与

储

存

操作注意事项：

密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩),戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴乳胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

储存注意事项：

储存于阴凉、通风的易燃气体专用库房。库温不宜超过30℃。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过52℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。

接

触

控

制

和

防

护

职业接触限值：

中国未制定标准美国：(ACGIH)TIV-TWA：5ppm

生物接触限值：

未制定标准

监测方法：

空气中有毒物质测定方法：未制定标准。生物监测检验方法：未制定标准

工程控制：

生产过程密闭，全面通风。

个体防护装备：

呼吸系统防护：空气中浓度超标时，建议佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。紧急事态抢救或撤离时，应该佩戴空气呼吸器。

眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。

皮肤和身体防护：穿防静电工作服。

手防护：戴橡胶手套。

理

化

特

性

外观与性状：

无色、发火气体，有恶臭。

pH值：

无意义