《2026—2027年用于半导体制造的极端紫外线光源与等离子体产生技术研发虽长期但获国家重大专项与顶尖研究机构持续投入》.pptxVIP

《2026—2027年用于半导体制造的极端紫外线光源与等离子体产生技术研发虽长期但获国家重大专项与顶尖研究机构持续投入》;

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一、二、三、四、五、六、七、八、九、十、一、国家意志与产业基石：深度剖析国家重大专项如何构筑EUV光源自主可控的长期战略体系与应对全球技术博弈的顶层设计

（一）从“跟随”到“引领”：解析国家重大专项在EUV光刻技术全链条中的核心战略定位与资源配置逻辑

在当前全球半导体产业链剧烈重组与地缘技术竞争白热化的背景下，国家重大专项对EUV光源技术的投入已超越单纯的科研扶持，上升至保障国家信息产业安全和夺取未来数字经济制高点的战略高度。其核心定位在于系