多支化的曼尼希碱缓蚀剂.doc

多支化的曼尼希碱缓蚀剂

原料配比

原料

配比（mol）

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

8#

9#

10

11#

12#

有机多胺

二乙烯三胺

1

—

—

—

—

—

—

—

—

—

—

—

五乙烯六胺

—

1

—

—

—

—

—

—

—

0.5

—

—

四乙烯五胺

—

—

1

—

—

—

—

—

—

—

—

0.2

三乙烯四胺

—

—

—

1

—

—

—

—

—

—

0.2

—

六乙烯七胺

—

—

—

—

1

—

—

—

—

0.5

—

—

三乙烯四胺

—

—

—

—

—

1

—

—

—

—

—

—

四乙烯五胺

—

—

—

—

—

—

1

—

—

—

—

—

二乙烯三胺

—

—

—

—

—

—

—

1

—

—

0.8

0.2

三乙烯四胺

—

—

—

—

—

—

—

—

1

—

—

0.6

酮

环己酮

3

—

5

—

—

—

1

—

—

—

—

—

2-甲基环戊酮

—

—

—

—

7

—

—

3

—

1

—

—

戊酮

—

—

—

—

—

2

0.5

—

—

—

3.5

—

苯乙酮

—

6

—

4

—

—

0.5

—

4

1

—

—

丙酮

—

—

—

—

—

2

—

—

—

—

—

4.5

丁酮-2

—

—

—

—

—

—

2

—

—

—

3.5

—

醛

甲醛

3

6

2

4

7

5

6

—

4.5

5.5

3.5

6

三聚甲醛

—

—

3

—

—

—

—

3

—

—