CN111174694B 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法 （山西大威激光科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111174694B(45)授权公告日2025.07.11

(21)申请号202010113765.1

(22)申请日2020.02.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111174694A

(43)申请公布日2020.05.19

(73)专利权人山西大威激光科技有限公司

地址030046山西省太原市综改示范区太

原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期5-1号厂房一层

(72)发明人高洋刘锋

(74)专利代理机构南京司南专利代理事务所(普通合伙)32431

专利代理师邓细波

(51)Int.CI.

GO1B9/02001(2022.01)

G01B11/02(2006.01)

G01B9/02015(2022.01)

(56)对比文件

CN211317207U,2020.08.21审查员李哲

权利要求书2页说明书6页附图4页

(54)发明名称

一种激光干涉位移测量装置及其使用方法

(57)摘要

CN111174694B70060050040010020030022本发明涉及一种激光干涉位移测量装置及其使用方法，包括读数头、三角波反射镜，所述读数头包括激光源、第一分光镜、第二分光镜、分光棱镜、第一光电探测器、聚光透镜、第二光电探测器、处理器。本发明加入分光棱镜和第一光电探测器，避免在测量过程中，激光束的波长因环境等因素发生变化而导致最终测量结果的偏差，对激光束波长的变化进行补偿；本方案使用简单的光学器件，以及利用激光干涉原理，完成对被测

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1.一种激光干涉位移测量装置的使用方法，基于激光干涉位移测量装置实现，其特征在于：

所述装置包括：读数头；

还包括三角波反射镜，用于接收第一分光镜透射的激光束，并将接收到的激光束进行反射；

所述读数头包括：

激光源，用于发射激光束；

第一分光镜，用于将激光源发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；

第二分光镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束再次反射至三角波反射镜，以及透射至分光棱镜；

分光棱镜，用于接收第二分光镜透射的激光束，并将激光束透射至第一光电探测器；

第一光电探测器，用于接收分光棱镜透射的激光束；

聚光透镜，用于接收第一分光镜和三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束聚光后透射至第二光电探测器；

第二光电探测器，用于接收聚光透镜透射的激光束；

处理器，用于记录第一光电探测器上激光束入射位置点的变化，以及检测第二光电探测器上产生的干涉现象，并计算出读数头或三角波反射镜的位移量；

所述读数头设置于被测物体上随被测物体一起移动，且三角波反射镜固定设置；或三角波反射镜设置于被测物体上随被测物体一起移动，且读数头固定设置；

所述方法包括以下步骤：

步骤S1:将三角波反射镜/读数头固定设置，并将读数头/三角波反射镜设置于被测物体上，使得读数头/三角波反射镜随被测物体一起移动，设置激光源角度，使得激光源发射的激光束与水平方向的夹角为150度；将第一分光镜、第二分光镜相互平行设置，且第一分光镜、第二分光镜与水平方向的夹角为30度；将聚光透镜设置于第一分光镜远离三角波反射镜的一侧，并使得聚光透镜能够接收到第一分光镜、三角波反射镜反射的激光束；将第二光电探测器设置于聚光透镜的焦点处，使得第二光电探测器上能接收到聚光透镜透射的两束激光束，并产生干涉现象；将分光棱镜设置于第二分光镜与聚光透镜之间，使得分光棱镜能够接收到第二分光镜透射的激光束；将第一光电探测器设置于分光棱镜和聚光透镜之间，使得第一光电探测器能接收到分光棱镜透射的激光束；

步骤S2:开启激光源，使用处理器检测第二光电探测器上产生的干涉现象，读数头/三角波反射镜随被测物体在水平方向上移动，使得第二光电探测器上产生的干涉现象为相长干涉/相消干涉，并记录此时干涉次数为0次；

步骤S3:在时间t内再次在水平方向上移动被测物体，读数头/三角波反射镜随被测物体一起移动，记录第二光电探测器上产生的相长干涉/相消干涉次数为M;

步骤S4:通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光束波长λ;

步骤S5:根据第二光电探测器上产生的相长干涉/相消干