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(正式版)DB63∕T 2467-2025 《多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范》.docx

ICS71.020CCSJ74

63

青海省地方标准

DB63/T2467—2025

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范

2025-09-24发布2025-11-01实施

青海省市场监督管理局发布

DB63/T2467—2025

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4装置损伤分布 2

5关键设备主要损伤

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