交流调制赋能光栅干涉条纹信号处理的FPGA深度实践与创新.docxVIP

交流调制赋能光栅干涉条纹信号处理的FPGA深度实践与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

在当代科技飞速发展的浪潮中，超精加工技术、MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）技术、纳米技术等前沿领域取得了令人瞩目的进步，这些技术的蓬勃发展对测量技术提出了前所未有的严苛要求。例如，在超精密加工过程中，为了确保工件的高精度制造，需要对加工过程中工件的X、Y坐标位置进行实时、精确的检测，并依据测量结果进行精准的坐标驱动或加工控制。在半导体光刻与封装技术里，高精度的位移测量对于保证芯片的制造质量和性能起着决定性作用。在生物医学工程中，微小位移的精确测量有助于生物