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2026及未来5年中国光阻干膜行业投资分析及发展战略研究咨询报告.docx

2026及未来5年中国光阻干膜行业投资分析及发展战略研究咨询报告.docx

    2026及未来5年中国光阻干膜行业投资分析及发展战略研究咨询报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

    一、光阻干膜行业技术原理与核心机制 5

    1.1光阻干膜的化学组成与光敏反应机理 5

    1.2成膜工艺中的热固化与紫外曝光动力学分析 7

    1.3干膜与湿膜技术路径的物理性能对比及失效机制 9

    二、中国光阻干膜产业历史演进与技术代际跃迁 11

    2.12000–2015年：进口依赖阶段的技术引进与仿制路径 11

    2.22016–2025年：国产替代加速期的关键材料突破与专利布局 13

    2.3技术代际划分：从g/i线到KrF/Ar

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