深度解析(2026)《GBT 29505-2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》.pptxVIP

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目录

一、精密测量基石：深入剖析GB/T29505-2013如何为半导体制造构建超精密表面粗糙度测量的权威基石与标准化框架

二、AFM与光散射法双雄逐鹿：专家(2026年)深度解析标准中两大核心测量技术的原理差异、应用边界与数据可比性奥秘

三、从纳米形貌到工艺指纹：揭秘表面粗糙度参数如何精准映射硅片加工工艺缺陷并预测器件性能的深层关联

四、超越Ra与Rq：全面解读标准中一维、二维及三维表面粗糙度参数体系的科学内涵与工程选择策略

五、实验室精度到产线稳定性：深度剖析测量环境控制、仪器校准与样品制备如何共同构筑可靠测量结果的铁三角

六、数据迷雾中的真相：专家视角解读标准中测量策