深度解析(2026)《GBT 29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》.pptxVIP

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目录

一、高纯铝及铝合金溅射靶材的国家标准出台背景：为何它成为半导体与显示产业升级的基石？

二、专家深度剖析GB/T29658-2013核心框架：从术语定义到分类体系的标准化逻辑

三、纯度决定性能：专家视角解读标准中对高纯铝及铝合金靶材化学成分的极致要求与检测方法论

四、微观世界定乾坤：(2026年)深度解析靶材显微组织、晶粒度与取向的标准化规定及其对薄膜质量的影响

五、尺寸精度与表面质量的“毫厘之争”：标准如何为靶材的几何特性与加工工艺设定严苛标尺？

六、力学性能与物理特性的标准化考量：揭秘靶材在溅射过程中的可靠性保障与失效预防机制

七、检验规则的“法理”与“尺度”：专家解