抛光剂制备方法.doc

抛光剂

原料配比

原料

配比(质量份)

1#

2#

3#

4#

5#

6#

7#

酸剂85%的浓磷酸

70

60

80

65

75

62

70

酸剂98%的浓硫酸

30

40

20

35

25

38

30

缓蚀剂五水硫酸铜

0.2

0.3

0.1

0.2

0.3

0.15

0.2

光亮剂巯基苯并咪唑

8

10

5

9

7.5

5

光亮剂聚二硫二丙烷磺酸钠

15

10

20

13

15

10

光亮剂乙撑硫脲

1

3

2

1.5

1

制备方法

(1)缓蚀剂五水硫酸铜与酸剂混合均匀后再将光亮剂加入混合。

(2)缓蚀剂五水硫酸铜与光亮剂混合后再加入混合好的酸剂,混合均匀。在此过

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