洁净室及相关受控环境 第17部分：颗粒物沉降速率应用标准立项修订与发展报告.docx

*

《洁净室及相关受控环境第17部分：颗粒物沉降速率应用》标准发展研究报告

EnglishTitle:ResearchReportontheDevelopmentof“CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments—Part17:ApplicationofParticleDepositionRate”

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密光学、航空航天等高技术产业的飞速发展，对生产环境的洁净度要求达到了前所未有的高度。传统的洁净室标准主要聚焦于空气中悬浮颗粒物的浓度控制与监测，然而，对于直接降落在产品关键表面