洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求标准立项修订与发展报告.docx

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《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制技术要求》标准立项与发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheStandardizationProjectof“TechnicalRequirementsforAirborneChemicalContaminationControlinCleanroomsandAssociatedControlledEnvironments”

摘要

随着半导体集成电路、平板显示、生物制药等高新技术产业的飞速发展，制程工艺已进入纳米乃至亚纳米尺度。在此背景下，洁净室环境中的空气化学污染物（