基于MEMS器件的小型惯性测量单元：原理、设计与应用探索.docx

基于MEMS器件的小型惯性测量单元：原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）技术已成为现代科技领域的关键支撑技术之一。MEMS技术的兴起，源于人们对微型化、集成化和智能化设备的不断追求。自20世纪60年代MEMS概念首次被提出，在理论探索阶段发展较为缓慢。到了80年代，微电子制造技术取得进步，MEMS迎来蓬勃发展，成功制造出微型传感器、微型执行器等设备，在医疗、汽车、航空航天等领域得到应用。90年代，MEMS技术取得更大突破，集成微型管道和微流体