JJF(有色金属)-原子力显微镜校准规范.docxVIP

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中华人民共和国工业和信息化部发布20xx-xx

中华人民共和国工业和信息化部发布

20xx-xx-xx实施

20xx-xx-xx发布

原子力显微镜校准规范

（送审稿）

CalibrationSpecificationfor

AtomicForceMicroscopeMachines

JJF（有色金属）XXXX—20XX

中华人民共和国工业和信息化部

有色金属计量技术规范

JJF（有色金属）XXXX-20XX

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原子力显微镜校准规范CalibrationSpecificationforAtomicForceMicroscopeMachines

原子力显微镜校准规范

CalibrationSpecificationforAtomicForceMicroscopeMachines

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归口单位：中国有色金属工业协会

主要起草单位：国合通用测试评价认证股份公司

参加起草单位：国标（北京）检验认证有限公司

有色金属技术经济研究院有限责任公司

国合通用（青岛）测试评价有限公司

国家纳米科学中心

北京科技大学

西安交通大学

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

天津大学

北京航空航天大学

包头稀土研究院

微仪光电（天津）有限公司

本规范委托有色金属行业计量技术委员会负责解释

本规范主要起草人：

杨银（国合通用测试评价认证股份公司）

吕琴丽（国标（北京）检验认证有限公司）

闫雁楠（有色金属技术经济研究院有限责任公司）

李铸铁（国合通用(青岛)测试评价有限公司）

樊志罡（国标（北京）检验认证有限公司）

周进（国家纳米科学中心）

赖宇明（北京科技大学）

王琛英（西安交通大学）

狄崇庆（中国科学院宁波材料技术与工程研究所）

郭磊（天津大学）

金雨佳（北京航空航天大学）

宋海茂（包头稀土研究院）

陈晓朋（国标（北京）检验认证有限公司）

叶志强（北京航空航天大学）

张昌（微仪光电（天津）有限公司）

卢硕（国标（北京）检验认证有限公司）

田济阳（国合通用测试评价认证股份公司）

张立峰（包头稀土研究院）

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目录

TOC\o1-2\h\u11897引言 （II）

121561范围 （1）

98592引用文件 （1）

89413概述 （1）

230714计量特性 （2）

318444.1Z向漂移 （2）

57474.2Z向亚纳米高度校正比例因子 （2）

318364.3Z向纳米高度校正比例因子 （2）5747

4.4Z轴位移测量误差 （2）

4.5X、Y轴位移测量误差 （2）

4.6Z轴测量重复性 （2）

4.7X、Y轴测量重复性 （2）

4.8X、Y坐标正交性误差 （2）

190245校准条件 （2）

198695.1环境条件 （2）

306375.2测量标准 （2）

210056校准项目和校准方法 （3）

215486.1校准项目 （3）

309556.2校准方法 （3）

76867校准结果表达 （9）

303678复校时间间隔 （10）

20296附录A原子力显微镜校准记录参考格式12124 （10）

23714附录B原子力显微镜2361校准证书内页参考格式 （14）

20332附录C7520原子力显微镜示值误差测量不确定度评定示例 （15）

引言

JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》和JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑校准规范制修订工作的基础性系列规范。

本规范主要参考了GB/T42659-2023《表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》、JJF1351-2012《扫描探针显微镜校准规范》、GB/T27760-2011《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》的技术内容。

本规范为首次发布。

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原子力显微镜校准