ECR等离子体辅助脉冲激光沉积制备氮掺杂氧化锌薄膜：工艺、性能与应用探索.docxVIP

ECR等离子体辅助脉冲激光沉积制备氮掺杂氧化锌薄膜：工艺、性能与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

氧化锌（ZnO）薄膜作为一种重要的宽禁带半导体材料，在室温下具有3.37eV的直接带隙和高达60meV的激子束缚能，展现出优异的光电性能，如良好的光学透明性、高的化学稳定性以及卓越的压电性能等。这些出色的特性使得ZnO薄膜在众多领域得到了广泛应用，如平面显示器中的透明导电电极，利用其高透明度和导电性，确保图像清晰显示；在太阳能电池中，作为光吸收层和电子传输层，有效提高电池的光电转换效率；在发光二极管（LED）中，实现高效的紫外光发射，拓展了LED的应用范围，从普通照明