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蒸镀仪操作规范

蒸镀仪作为精密薄膜制备设备，其操作需严格遵循标准化流程以确保成膜质量、设备安全及实验数据可追溯性。以下从操作前准备、核心操作流程、特殊工况处理、设备维护保养及安全注意事项五个维度，系统阐述蒸镀仪全周期操作规范。

一、操作前准备

（一）环境与人员确认

实验环境需满足温度20±2℃、相对湿度≤60%的恒定条件，避免温湿度波动导致真空系统冷凝水析出或电子元件性能漂移。操作前需开启实验室通风系统，确保室内无挥发性有机物残留（如丙酮、乙醇等清洗溶剂），防止其通过真空管路反扩散污染腔体。操作人员需穿戴洁净实验服、无粉丁腈手套，长发需束起，严禁佩戴金属饰品（如戒指、手表），避免金属导体引