CN118363189A 一种基于超材料和vo2的可调谐太赫兹分波器及其制作方法 （重庆邮电大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118363189A

(43)申请公布日2024.07.19

(21)申请号202410446892.1

(22)申请日2024.04.15

(71)申请人重庆邮电大学

地址400065重庆市南岸区南山街道崇文

路2号

(72)发明人马勇郑佐月马晓燠郭晓越

胡帅刘海涛黎人溥许光洪

孙晓路陈沁樊逢佳周幸叶

(74)专利代理机构成都行之专利代理有限公司

51220

专利代理师喻英

(51)Int.Cl.

G02F1/01(2006.01)

G02B6/293(2006.01)

G02B1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种基于超材料和VO的可调谐太赫兹分波

2

器及其制作方法

(57)摘要

本发明公开了一种基于超材料和VO的可调

2

谐太赫兹分波器，由单元结构沿x、y方向周期性

排列而成；其中，单元结构为正方体形状，包括：

介质层、金属图案层和VO2结构层；金属图案层位

于介质层上表面；VO2结构层位于介质层下表面；

其中，金属图案层包括闭口方环结构和第一条带

结构；第一条带结构位于闭口方环结构的中间，

与闭口方环结构其中两边平行；且第一条带结构

的长大于闭口方环结构的边长，将闭口方环结构

平均分成两部分；VO2结构层包括第二条带结构；

第一条带结构和第二条带结构均为“一”字型长

A方体形状。本发明通过在超材料结构中加入相变

9材料VO实现可调谐，可实现在一个器件上将三

82

1

3种不同频率的太赫兹波分离，提高了单个器件的

6

3

8信道容量。

1

1

N

C

CN118363189A权利要求书1/1页

1.一种基于超材料和VO的可调谐太赫兹分波器，其特征在于，由单元结构沿x、y方向周

2

期性排列而成；其中，所述单元结构为正方体形状，包括：介质层、金属图案层和VO结构层；

2

所述金属图案层位于所述介质层上表面；

所述VO结构层位于所述介质层下表面；

2

其中，所述金属图案层包括闭口方环结构和第一条带结构；

所述第一条带结构位于所述闭口方环结构的中间，与所述闭口方环结构其中两边平

行；且所述第一条带结构的长大于所述闭口方环结构的边长，将所述闭口方环结构平均分

成两部分；

所述VO结构层包括第二条带结构；

2

所述第一条带结构和所述第二条带结构均为“一”字型长方体形状。

2.根据权利要求1所述的一种基于超材料和VO的可调谐太赫兹分波器，其特征在于，所

2

述闭口方环结构包括外环结构和内环结构；

所述外环结构的边长为329～349μm；所述内环结构的边长为267～287μm；

所述第一条带结构的长为455～475μm，宽为37～47μm。

3.根据权利要求1所述的一种基于超材料和VO的可调谐太赫兹分波器，其特征在于，所