SR系列TS2000 TS2100晶圆传输机器人安装与运输手册.pdfVIP

SRseries/TS2000/TS2100

INSTRUCTIONMANUAL

WAFERTRANSFERROBOTSR–

404HC,

SR–405HC–L1550–R/L

[withTraverseAxis(Actuator)BB70]

TRANSPORTATIONINSTALLATION

Notice

1.Makesurethatthisinstructionmanualisdeliveredtothe

finaluserofSHIBAURAMACHINEsindustrialrobot.

2.Beforeinstallingandoperatingtheindustrialrobot,read

throughandcompletelyunderstandthismanual.

3.Afterreadingthroughthismanual,keepitnearbyforfuture

reference.

Rev.1

April1,2020

©2020SHIBAURAMACHINE

CO.,LTD。。

SHIBAURAMACHINECO.,LTD.，以本文件的。

本手册中包含的信息可能会在未事先的情况下进行改进。

Copyright2020bySHIBAURAMACHINECO.,LTD.

Allrights.

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permissionfromSHIBAURAMACHINECO.,LTD.

Theinformationcontainedinthismanualissubjecttochangewithoutpriornoticetoeffect

improvements.

前言

本手册描述了如何拆箱和安装机器人及其控制器。具体而言，它详细说明了如何拆箱包含

机器人和控制器的货物、如何安装它们以及如何连接线路和气管。请在拆箱前务必阅读本

手册。

在根据本手册开始工作之前，请阅读《安装手册》和《安全手册》，以便了解各个部件的

名称和功能以及安全措施。

本手册分为以下三个（3）部分。

第一部分：本部分描述了如何拆箱包含机器人和控制器的货物，并将它们搬运到

安装现场。此外，还描述了拆箱后设备暂时存放时应注意的事项。第二部分：安装

本部分讨论了机器人和控制器的安装环境、空间要求以及如何安装设备。

第3节：系统连接本节描述了如何连接机器人、控制器和设备。

PREFACE

Thismanualdescri