基于数值模拟的大气压射频微等离子体放电特性解析与研究.docx

基于数值模拟的大气压射频微等离子体放电特性解析与研究

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，呈现出高度的活性。在众多等离子体研究领域中，大气压射频微等离子体放电凭借其独特的性质和广泛的应用前景，吸引了众多科研人员的目光。

在半导体制造领域，随着芯片制程的不断缩小，对刻蚀、薄膜沉积等工艺的精度和均匀性提出了更高要求。大气压射频微等离子体能够产生高活性的粒子，可精确控制材料表面的原子和分子过程，实现纳米级别的加工精度，从而满足先进芯片制造的需求。如在等离子体刻蚀工艺中，利用射频微等离子体对硅片进行刻蚀，可实现高深宽比的精细结构加工，为高性能芯片