《纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法》.pdfVIP

ICS77.120.99

CCSH65

团体标准

T/CASMESXXXX—XXXX

纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法

Testmethodforbufferingcapacityofnanoceriumdioxidepolishingliquid

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国中小企业协会  发布

T/CASMESXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4测试原理1

5试剂与仪器1

6样品制备2

7测试步骤2

8数据处理3

9精密度4

10注意事项4

11试验报告4

附录A（规范性）标准溶液标定方法6

I

T/CASMESXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由内蒙古科技大学提出。

本文件由中国中小企业协会归口。

本文件起草单位：内蒙古科技大学、××××、××××

本文件主要起草人：×××、×××、×××

II

T/CASMESXXXX—XXXX

纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法

1范围

本文件规定了纳米二氧化铈抛光液缓冲能力的测试原理、试剂与仪器、样品制备、测试步骤、数据

处理、精密度、注意事项和试验报告。

本文件适用于以纳米二氧化铈为主要磨料，分散于水相体系（含或不含分散剂、络合剂等添加剂）

的抛光液，包括电子级、光学级等各类应用场景的纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T622化学试剂盐酸

GB/T629化学试剂氢氧化钠

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T27501pH值测定用缓冲溶液制备方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

纳米二氧化铈抛光nanoceriumdioxidepolishingliquid

以粒径为（1～100）nm的二氧化铈为主要磨料，经分散处理后形成的稳定分散体系，用于光学玻

璃、半导体晶圆等材料表面抛光的液体产品。

3.2

缓冲能力buffercapacity