基于模态局域化的电容耦合式微型电场传感器：设计、分析与应用探索.docxVIP

基于模态局域化的电容耦合式微型电场传感器：设计、分析与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，电场作为一种重要的物理量，其精确测量在众多领域中都发挥着不可或缺的作用。从广袤无垠的航空航天领域，到与日常生活息息相关的电力系统，从气象探测的风云变幻，到危化工业生产的安全保障，电场传感器都扮演着关键的角色。

在航空航天领域，电场传感器可用于探测航天器周围的空间电场环境，为卫星的轨道控制、通信系统的稳定运行提供重要的数据支持，确保航天器在复杂的太空环境中安全、可靠地工作。在气象领域，通过对大气电场的监测，能够提前预警雷电等极端天气，为气象保障提供可靠依据，避免强电场对人类活动和基础设施造成的破坏。在电力系统中，电场传感器可用于检测高压输电线路周围的电场分布，及时发现潜在的故障隐患，保障电力传输的稳定与安全。在危化工业生产中，对生产环境中的电场进行监测，能够有效预防静电引发的火灾、爆炸等事故，保障人员生命和财产安全。

随着微机电系统（MEMS）技术的不断进步，采用MEMS方式研制的谐振式电场传感器因其体积小、重量轻、成本低等显著优势，成为了电场探测领域的重要发展方向，受到了越来越广泛的关注和应用。然而，随着电场传感器应用场景的不断拓展和深化，对传感器性能的要求也日益严苛。传统的电场传感器在灵敏度、分辨力等关键性能参数上逐渐难以满足实际需求，限制了其在一些高精