CN115493683A 一种氧化石墨烯波纹膜光纤fp声压传感器及其制作方法 （深圳北航新兴产业技术研究院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115493683A(43)申请公布日2022.12.20

(21)申请号202210928126.X

(22)申请日2022.08.03

(71)申请人深圳北航新兴产业技术研究院

地址518000广东省深圳市南山区粤海街

道高新区南区虚拟大学园大楼B407室

(72)发明人李成刘洋董书萱

(74)专利代理机构北京鑫瑞森知识产权代理有限公司11961

专利代理师代芳

(51)Int.CI.

GO1H9/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种氧化石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器及其制作方法

(57)摘要

CN115493683A2本发明提供了一种氧化石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。本发明通过模具制作、壳体制作、氧化石墨烯波纹膜制备与对准转移以及F-P干涉距离确定四个步骤，在悬浮氧化石墨烯膜表面制备波纹结构来调控膜片表面预应力，进而提高了光纤F-P

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