《纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法》征求意见稿.docx

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T/CASMESXXXX—XXXX

纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法

1范围

本文件规定了纳米二氧化铈抛光液缓冲能力的测试原理、试剂与仪器、样品制备、测试步骤、数据处理、精密度、注意事项和试验报告。

本文件适用于以纳米二氧化铈为主要磨料，分散于水相体系（含或不含分散剂、络合剂等添加剂）的抛光液，包括电子级、光学级等各类应用场景的纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T622