压电陶瓷驱动快刀伺服系统的设计、优化与应用研究
一、引言
1.1研究背景与意义
随着现代工业的迅猛发展,各领域对精密加工的需求呈现出爆发式增长态势。在航空航天领域,发动机的关键零部件如叶片、涡轮盘等,为确保发动机在高温、高压、高转速等极端条件下稳定、高效运行,其加工精度要求达到微米甚至纳米级。在电子信息领域,芯片制造中电路线宽不断缩小,目前先进制程已进入7纳米甚至5纳米时代,对加工精度和表面质量的要求近乎苛刻。医疗器械领域,人工关节、微型手术器械等精密零件,其精度和表面质量直接关乎患者的治疗效果和生命健康。这些都充分表明,精密加工技术已成为推动现代工业发展的核心力量之一。
压电陶
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