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可变光栅微加速度传感器：原理、技术与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，传感器技术作为获取信息的关键手段，已成为众多领域不可或缺的重要组成部分。可变光栅微加速度传感器作为一种先进的微机电系统（MEMS）传感器，凭借其高精度、高灵敏度、小体积、低功耗等显著优势，在汽车安全、智能手机、无人机等诸多领域展现出巨大的应用潜力，对推动各领域技术进步和产业发展发挥着至关重要的作用。

在汽车安全领域，可变光栅微加速度传感器扮演着极为关键的角色。在自动驾驶系统中，它能够精确测量车辆在各个方向上的加速度变化，为系统提供关键的动态信息。这些信息对于实时监测车辆动态、实现精