原创力文档T/CASMESXXXX—XXXX
纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法
1范围
本文件规定了纳米二氧化铈抛光液缓冲能力的测试原理、试剂与仪器、样品制备、测试步骤、数据
处理、精密度、注意事项和试验报告。
本文件适用于以纳米二氧化铈为主要磨料，分散于水相体系（含或不含分散剂、络合剂等添加剂）
的抛光液，包括电子级、光学级等各类应用场景的纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试。
2规范性引用文件
下列文件
T/CASMESXXXX—XXXX
纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试方法
1范围
本文件规定了纳米二氧化铈抛光液缓冲能力的测试原理、试剂与仪器、样品制备、测试步骤、数据
处理、精密度、注意事项和试验报告。
本文件适用于以纳米二氧化铈为主要磨料，分散于水相体系（含或不含分散剂、络合剂等添加剂）
的抛光液，包括电子级、光学级等各类应用场景的纳米二氧化铈抛光液缓冲能力测试。
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