深度解析(2026)《SJT 11883-2022扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法》.pptxVIP

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一、二、三、四、五、六、七、八、九、十、一、专家视角：从SJ/T11883-2022标准出发，深度剖析半导体制造关键设备扩散炉的能源计量革命与未来绿色智造趋势

（一）标准出台背景与行业痛点：为何此刻亟需统一的扩散炉能耗计量标尺？

随着全球半导体产业向更精密制程与绿色制造加速转型，扩散炉作为芯片制造中的关键高温热处理设备，其巨大的能源消耗已成为制约企业降本增效与达成“双碳”目标的突出瓶颈。然而，长期以来，行业内缺乏一套科学、统一、可操作的热平衡与能耗计算方法，导致能效评估混乱、节能改造方向模糊。SJ/T11883-2022的发布，正是为了填补这一关键空白，为半导体工厂的