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超快激光玻璃微纳加工技术进展与应用

一、超快激光玻璃微纳加工技术概述

1.超快激光加工原理

超快激光加工技术基于飞秒激光的高峰值功率和短脉冲宽度，能够在材料表面实现精确的微纳加工。其基本原理是通过飞秒激光的瞬间高能量密度在材料表面形成等离子体，等离子体产生的高速电子和离子对材料表面产生冲击波，导致材料局部熔化甚至蒸发。飞秒激光的脉冲宽度约为10^-15秒，远远小于热传导的时间尺度，因此加工过程中产生的热影响区域非常小，能够有效避免材料的热损伤。

飞秒激光加工的另一个关键原理是其非线性光学效应。当飞秒激光与材料相互作用时，激光的光强会引发材料的非线性光学响应，如