《超精密气浮运动平台》编制说明(征求意见稿).docx

《超精密气浮运动平台》（征求意见稿）

编制说明

标准起草组

2026年1月

一、必要性

超精密气浮运动平台是半导体制造设备、精密光学检测装备、高端数控系统等战略性产业的核心基础部件，其精度、速度与稳定性直接关系到光刻机、测量机、晶圆检测机等关键装备的整体性能。当前，我国正加快推进制造强国、质量强国建设，着力突破“卡脖子”关键技术。制定该领域团体标准，可为相关装备的自主研发、性能评价与可靠应用提供统一技术依据，助力实现高端运动控制部件的自主保障与迭代升级。

随着中美关系的不明朗，全球半导体供应链局势在实时动态变化中。在半导体先进制程和封测领域中，大加速度高动态性能的精密运动平台作为设备