TFT-LCD制造工艺与结构.pdfVIP

LCD面板显示生产工艺

液晶显示器（LiquidCrystalDisy,LCD）是平板显示技术（FlatPanelDisy,FPD）

的一种，基于液晶材料特殊的理化与光电特性，是目前平板显示技术中发展最成熟、应用最广泛

的显示器件，主要应用于电视、显示器、笔记本电脑、平板电脑、智能等领域。

目前市场上所谓的LCD主要指的是主动矩阵式的薄膜晶体管液晶显示器（ThinFilm

TransistorLCD,TFT-LCD），包括了薄膜晶体管（TFT）和液晶显示（LCD）两项技术，即

由薄膜晶体管控制的液晶显示。

TFT-LCD：三明治一样的构造

液晶显示屏的构造就如同三明治一样，将液晶夹杂在两片玻璃基板之间，这两片玻璃基板，

就是TFTArray玻璃和彩色的滤光片。在TFTArray玻璃上有无数的画素(pixel)排列，而

彩色的滤光片则是画面颜色的重要，液晶便夹杂在TFTArray以及彩色的滤光片之间。

当电压在TFT(晶体管)的时候，液晶转向，光线便穿过了液晶在面板上面产生了一个画素，

而此光源则是由背光模块所负责的。此时，彩色的滤光片给予了每一个画素特定的一个

颜色。结合了每一个不同颜色的画素最后所呈现出的就是面板前端的影像了。

TFT-LCD必须是在精密的无尘室之内，经过300道以上的制程而生产出来的。无尘室的最

净度等级可以达到「10」（即：在无尘室的环境之内，每立方尺最多只有10颗粉尘）。

TFT-LCD构造图

TFT-LCD主要的三段制程

前段Array

前段部分的Array制程和制程相似，但是不同的是将薄膜电晶作在玻璃之上，

而不是矽晶圆上面。

中段Cell

中段的Cell，是以前段的TFTArray玻璃作为基板，和彩色的滤光片玻璃基板相结合，并

且在两片玻璃基板之间滴上液晶再贴合，再将大片的玻璃切割成为面板。

后段ModuleAssembly(模组组装)

后段模组的组装制程则是将Cell制程的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种

零组件组装生产的作业。

面板主要生产工序及设备

TFT-LCD制造流程

TFT-LCD工厂——世代和尺寸

TFT-LCD的工厂从以前的1代工厂演进到了现今的11代工厂，各个世代的厂房差别就是在

于玻璃基板的一个尺寸。玻璃基板越大，便就能切割出更大尺寸的面板。

TFT-LCD工艺制程

克洛诺斯TFT-LCD面板检测平台

克洛诺斯超精密直线电机平台在领域、3C领域应用广泛，包括面板行业、

行业、晶圆检测工艺等，其中面板行业设备包括MiniLEDMicroLED精密平台及整机设备、

触摸屏ITO银浆蚀刻、FPD玻璃检测平台、触摸屏OGS激光直写平台、液晶屏TFT-LCD面板

检测平台、全面屏高速双面切割平台等。

行程：1800*1870mm

重现精度：±2um

定位精度：±4um