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光刻法制备微纳流体芯片及其在检测仪器中的创新应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下，微纳制造技术已成为现代科技领域的核心力量，推动着众多行业不断向前迈进。其中，光刻法作为微纳制造技术的关键组成部分，在制备微纳流体芯片方面展现出了卓越的性能和独特的优势。微纳流体芯片，作为一种能够精确操控微纳尺度下流体流动的微型器件，其在生物学、医学、化学分析等多个领域都有着极为广泛且深入的应用。

从生物学领域来看，随着生命科学研究逐步向微观层面深入，对于细胞、生物分子等微观物质的研究需求日益增长。微纳流体芯片凭借其能够模拟生物体内微环境的特性，为细胞培养、生物分子检测等实验提供了理想的