宣贯培训(2026年)《GBT 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》.pptxVIP

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目录

一、解码未来芯片基石：专家视角深度剖析GB/T14146-2021C-V法如何精准锚定硅外延层载流子浓度

二、标准核心精要深度解构：从术语定义到测试原理，全面掌握C-V法测量载流子浓度的理论基石与规范逻辑

三、前瞻产业变革与标准跃迁：洞察宽禁带半导体与超薄外延趋势下，C-V法测试技术面临的挑战与演进路径

四、实验室实战指南与关键疑点破解：一步步详解样品制备、仪器校准、测量步骤中的核心操作与常见陷阱规避

五、从曲线到浓度：深度解读C-V测量数据处理全流程，揭秘载流子浓度分布提取的数学模型与计算精要

六、测量不确定度的深度剖析与量化控制：系统构建硅外延层C-V法测试