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基于热压印技术硫系玻璃光波导制备研究.pdf

基于热压印技术硫系玻璃光波导制备研究.pdf

    摘要

    摘要

    随着硫系集成光子器件的发展，对具有低传输损耗的硫系光波导的需求也

    日益增多。热压印技术作为一种新型制备硫系光波导器件的方法，具有低成本、

    高精度、高效率等优点。但采用该方法制备AsS脊型光波导的过程中，波导表

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    面会出现析晶以及脱模时黏连问题，难以获得高质量的波导。为此本文提出在

    AsS薄膜表面再蒸镀一层

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