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- 2026-02-05 发布于河北
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SEMIF101-1105
气体分配系统中压力调节器性能测定的试验方法
1.目的
1.1本文件的目的是确定一种用测试正在考虑安装到气体系统
中的压力调节器的方法。应用这种测试方法，预计将产生可比较的数
据，监管机构之间的测试资格的目的。
1.2本文件建立了一种量化调节器性能特征的测试方法。
2.范围
2.1本试验方法适用压力调节器。测量这
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