紫外光辐照下精细铁酸铋薄膜的制备与图案化技术探究.docxVIP

紫外光辐照下精细铁酸铋薄膜的制备与图案化技术探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学的广阔领域中，多铁性材料由于其独特的物理性质，近年来受到了广泛的关注与深入的研究。铁酸铋（BiFeO_3，简称BFO）薄膜作为一种典型的多铁性材料，展现出了铁电性与反铁磁性在室温下共存的特性，并且这两种铁性有序之间存在着显著的磁电耦合效应。其铁电居里温度高达830^{\circ}C，反铁磁奈尔温度为370^{\circ}C，均远在室温之上，这一特性组合使得铁酸铋薄膜在众多领域中呈现出极为广阔的应用前景。

在光电器件领域，铁酸铋薄膜凭借其特殊的电学和光学性质，可用于制造高性能的光电探测器。当光线照