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缺陷工程：解锁钙钛矿氧化物薄膜物性调控的新密码

一、绪论

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，钙钛矿氧化物薄膜以其独特的晶体结构和丰富多样的物理性质，占据着举足轻重的地位。钙钛矿氧化物薄膜具有ABX?型晶体结构，其中A位通常为较大的阳离子，如稀土元素或碱土金属离子；B位则是较小的阳离子，一般为过渡金属离子；X位为阴离子，常见的有氧离子。这种结构赋予了钙钛矿氧化物薄膜一系列优异的性能，如铁电性、压电性、磁性、催化活性以及良好的光学和电学特性等，使其在众多领域展现出巨大的应用潜力。

在电子器件领域，钙钛矿氧化物薄膜被广泛应用于铁电存储器、场效应晶体管、传感器等器件的制备。例如，基于钙