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石墨烯纳机电振子：原理、实验与应用前景的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，纳米机电系统（NEMS）作为一门融合了纳米技术、微电子技术和微机电系统技术的交叉学科，近年来受到了广泛的关注。纳米机电系统是指特征尺寸在纳米量级（1-100纳米）的机电系统，其质量轻、谐振频率高、对外界环境敏感等特点，使其在众多领域展现出巨大的应用潜力，成为了现代科技研究的热点之一。

在纳米机电系统中，纳机电振子作为核心部件，对系统的性能起着关键作用。纳机电振子能够将电能、机械能、热能等多种形式的能量进行相互转换，实现对微小物理量的精确测量和控制，其应用范围涵盖了从基础科学研究到实际工