原创力文档摘要
压电超声换能器作为精密微加工领域的关键能量转换装置，主要利用压电陶
瓷的逆压电效应将电能转化为高频振动机械能，驱动加工刀具实现对材料的微米
级甚至纳米级加工，具有高精度、高效率、低污染等优点。换能器作为一种典型
的机电耦合器件，结构参数如果设计不合理，极易导致换能器工作频带内出现干
扰模态和寄生模态，严重影响振动特性和加工精度；其次，传统的设计方法难以
兼顾工作频率带宽需求，限制了换能器在不同工况下的适应性；此外，换能器的
谐振频率易受到负载、温度及电压等因素的影响而发生漂移，导致换能器产生
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